一、项目基本情况

原公告的项目编号：/

原公告的项目名称：重庆新型储能材料与装备研究院高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购

首次公告日期：2025年9月28日　

二、更正信息

更正事项：竞争性比选文件

更正内容：

1、对竞争性比选文件第一篇 一、竞争性比选内容更正如下：

2、对竞争性比选文件第二篇 二、技术要求中的（一）、指标要求更正如下：

（一)、指标要求：

※1. 真空系统：复合分子泵

▲2. 真空极限：9×10^-6Pa

▲3. 抽真空速度：6.6×10^-4Pa≤30min

4. 真空测量：复合真空计，量程1×10^-7Pa至1×10⁵Pa

5. 真空腔室：长宽高尺寸不小于350×370×400 mm，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ99 mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔体、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；前后开门，前门法兰可以和手套箱对接密封，需预留有不少于4个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展。

6. 基片台：

※ 6.1 尺寸不小于Φ100 mm；

▲6.2 具备旋转功能，旋转速率可调，最大转速不低于20转/分；

▲6.3 衬底加热：室温至800℃（高温区700℃以上，热场均匀性优于±1.5%，不少于五点测温）。

6.4 配负偏压，最大偏压值不小于200 V，实现等离子体清洗功能。

▲7. 靶基距：120 mm，可调范围不小于40 mm

※8. 可实现倾斜共溅射。

※9. 磁控靶及电源：3只2inch圆形平面靶，配备3台电源，射频电源2台，输出功率不小于300W，频率13.56MHz，直流电源1台，输出功率不小于500W。

10. 掩膜板：包含

※11. 水冷系统：冷却循环水机1台

▲12. 是否可接手套箱：可

▲13 配件：包含靶材Mg，Sn，Bi，Sb，BiSb，In，石墨，Gd，TiO₂，Al₂O₃，ZrO₂，MgF₂，CeO₂，Ti、Mn、Cu、Mo、TiN、AlN各一块（纯度4N，厚度≥3 mm）。

▲14. 控制系统：整套控制系统采用PLC+触摸屏控制；按钮控制：电源开关、机械泵开关、分子泵开关、真空阀开关、溅射电源开关及调节；系统保护：阀门逻辑互锁保护，分子泵保护，缺水报警保护，设备过流过压保护，急停保护；数显：真空状态显示、分子泵工作状态显示、真空泵阀工作状态显示。

▲15. 片内膜厚均匀性：≤±2.5%，需提供佐证材料。

▲16. 气路系统：三路工艺气体MFC控制，量程范围满足工艺制备金属、金属氧化物的需要，准确度优于±1.5 sccm。

17. 为保证产品质量及售后服务质量，比选人需提供该产品的制造商售后服务承诺书及参数确认书、产品彩页原件（加盖制造商鲜章）。

18. 安装与售后服务：提供免费安装、调试服务，提供使用人员 3-5天的现场免费培训。仪器试运行2-3个月后，比选人再提供一次现场全面的应用技术培训。定期用户回访（1-2次/年），提供完善的技术咨询和应用服务。

19. 质量和包装要求：中选人所提供的货物必须为全新的，货物表面洁净完好、无划伤、无碰撞、无锈迹，并按制造厂商产品的正规渠道订货与进货。所提供货物的产品性能、技术标准必须符合产品正式说明书。中选人必须在供货的同时要提供所有的技术文件。技术文件可以是手册、图纸或其他形式的文件资料。上述技术文件可保证设备能够正确进行安装、操作、检查、维修、维护、测试、调试、验收和运作的需要的所有内容。中选人免费提供产品正式说明书，场地准备书，使用手册及维护手册等。

20. 中选人使用崭新坚固的木箱或使用适用于长途运输的硬纸箱且托底采用木托的标准出口包装，适合于空运、海运、陆运等长途运输方式及气候变化，防潮、防震、防雨、防锈、防冻等。

3、对竞争性比选文件第四篇  资格审查及评标办法 二、评审标准 （一）、评审因素中的2.技术部分（55%）评分标准更正如下：

更正日期：2025年9月30日　

三、其它补充事宜

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系

（一）比选人：重庆新型储能材料与装备研究院

联系人：何老师

电  话：023-67173599

地  址：重庆市渝北区龙兴镇卓越路19号重庆新型储能材料与装备研究院307室

（二）比选代理机构：重庆恒泰工程技术服务有限公司

联系人：曾老师        

电  话：023-65451822

地  址：重庆市沙坪坝区小龙坎嘉新大厦12-3